ВАНТ №1 2005

In the present work the non self-consistent theory of the discharge sustained by SW. In the approximation of the set field analytical ratio for EEDF are found. The approached distributions of discharge parameters, such as plasma density, spatial diffusion coefficient, frequencies of elementary processes (excitation, ionization, etc.), and quantities of inelastic processes are received. It is shown, that under certain conditions the contribution to them from bounce elec-trons can become determining.

В данной работе построена несамосогласованная теория разряда, поддерживаемого ПВ. В приближе-нии заданного поля найдены аналитические решения для ФРЭЭ. Получены приближенные распределения раз-рядных характеристик, таких как плотность плазмы, коэффициент пространственной диффузии, частоты эле-ментарных процессов (возбуждения, ионизации и т.п.) и количество неупругих процессов. Показано, что при определенных условиях вклад от bounce электронов может стать определяющим.

В даній роботі побудовано самоузгоджену теорію розряду, що підтримується ПХ. У наближенні зада-ного поля знайдено аналітичні рішення для ФРЕЕ. Отримано наближені розподіли характеристик розряду, та-ких як густина плазми, коефіцієнт просторової дифузії, частоти елементарних процесів (збудження, іонізації та ін.) та кількості процесів. Показано, що за певних умов bounce електрони можуть відігравати визначну роль