ВАНТ №4 2001

И.И. Аксенов
Национальный научный центр "Харьковский физико-технический институт", г. Харьков, Украина,
тел./факс: (057) 335-07-55

Исследована система с преобразованием двух встречных потоков вакуумно-дуговой плазмы в радиальный поток, очищенный от макрочастиц. Показано, что по эффективности транспортировки плазмы исследуемая система в несколько раз превосходит другие известные устройства: ионный ток на выходе составляет 8,4% от тока дугового разряда. С применением компьютерного моделирования система оптимизирована в отношении ее фильтрующих качеств. Предложен метод регулировки пространственного распределения плотности выходного потока. Получены образцы "бескапельных" покрытий из TixNy, TiCN, Al2O3, AlN, Ti, Al, Cu.
УДК 537.525.5

Досліджено систему з перетворенням двох зустрічних потоків вакуумно-дугової плазми в радіальний потік, очищеній від макрочасток. Показано, що ефективність транспортування плазми в системі, що досліджувалася, у кілька разів перевершує цей показник для інших відомих пристроїв: іонний струм на виході становить 8,4 % від струму дугового розряду. З використанням комп'ютерного моделювання систему оптимізовано відносно її фільтруючих якостей. Запропоновано метод регулювання просторового розподілу густини вихідного потоку. Одержано зразки "безкрапельних" покриттів з ТixNу, ТіСN, АІ2О3, А1N, Ті, А1, Сu.

A system with transformation of two opposite vacuum-arc plasma flows into a radial flow freed of macroparticles is investigated. It is shown that the system under study greatly surpasses the other known devices in the efficiency of plasma transport: the output ion current makes 8.4% of the arc discharge current. A computer simulation was used to optimize the filtering properties of the system. The method is proposed to control the space distribution of the output flow density. Specimens of "droplet-free" coatings from TixNy, TiCN, Al2O3, A1N, Ti, Al, Cu were obtained.