ВАНТ №6 2003
СОДЕРЖАНИЕ СТАТЬЯ

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ВТОРИЧНО-ИОННОЙ ЭМИССИИ ДЛЯ ИЗУЧЕНИЯ ПРОЦЕССОВ ФОРМИРОВАНИЯ ПОКРЫТИЙ Cr-N НА АЛЮМИНИИ

В.Д. Вирич, А.Г. Гугля, В.А. Шкуропатенко
Национальный Научный Центр “Харьковский физико-технический институт”, Институт физики твердого тела, материаловедения и технологий, г. Харьков, Украина


Приведены результаты изучения покрытий системы CrN - алюминий, формируемых в условиях осаждения хрома с одновременным облучением ионами азота с энергией 30 кэВ при температуре 300ºС. Показано, что при использовании определённых методических подходов метод вторично-ионной масс-спектрометрии может быть с успехом применён для детального анализа распределения металлических и газообразных примесей внедрения в переходной зоне покрытие-подложка. Обнаружено, что ионная бомбардировка в процессе осаждения приводит к формированию широкой переходной зоны между подложкой и покрытием, свободной от газообразных примесей и щелочных металлов.
УДК 621.384.6:543.51

ВИКОРИСТОВУВАННЯ ВТОРИННО-ІОННОЇ ЕМІСІЇ ДЛЯ ВИВЧЕННЯ ПРОЦЕСІВ ФОРМУВАННЯ ПОКРИТТЯ Cr-N НА Al

В.Д. Вірич, А.Г. Гугля, В.А. Шкуропатенко


В роботі наведені результати вивчення системи покриття Cr-N - алюміній, сформованого за умов осадження хрома с одночасним опроміненням іонами азота с енергією 30 кеВ при температурі 300ºС. Показано, що при використанні певних методичних підходів метод вторинно-іонної мас-спектрометрії може бути з успіхом використан для детального аналізу розподілу металевих та газуватих домішок проникнення в перехідній зоні покриття-підкладка. Знайдено, що іонне бомбардування в процесі осадження призводить до формування широкої перехідної зони між підкладкою і покриттям, вільної від газуватих домішок та лужних металів.

USAGE OF THE SECONDARY - ION EMISSION FOR ANALYSIS PROCESSES OF FORMATION OF COATINGS Cr-N ON Al.

V.D. Virich, A.G. Guglya, V.A. Shkuropatenko


In activity the outcomes of analysis of a system coating Cr-N - aluminium, chromium, reshaped in mode of depositions, with simultaneous irradiation by nitrogen ions with energy 30 keV are adduced at temperature 300ºС. It was shown, that at definite modification the method of the secondary - ion mass spectrometry can with success be applied for in-depth study of distribution of metal and gaseous interstitial impurities in a transition zone a cover - substrate. It is revealed, that the ionic bombardment during a deposition results in formation of a broad zone between a substrate and coating, free from gaseous impurity and alkaline metals.