<HTML><HEAD><TITLE>АННОТАЦИИ
</TITLE></HEAD>
<BODY LINK=#000080 ALINK=#483D8B VLINK=#000000>
	<TABLE ALIGN=CENTER CELLSPACING=1 CELLPADDING=5 BORDER=10 BACKGROUND="../images/003.gif" BGCOLOR=#D8BFD8 WIDTH=80% >
	<TR  ALIGN=CENTER CELLSPACING=0>
<TD COLSPAN=2><H2>ВАНТ №2 2005</H2></TD>
<TR><TD  BGCOLOR=#f5f5f5 ALIGN=CENTER WIDTH=50% HEIGHT=15>
<A HREF="../CONTENTS/CONTENTS_2005_2.html#KEY5">СОДЕРЖАНИЕ</A></TD>
<TD BGCOLOR=#f5f5f5 ALIGN=CENTER WIDTH=50% HEIGHT=15><A HREF="../ARTICLE/VANT_2005_2/article_2005_2_167.pdf">СТАТЬЯ</A></TD></TR>
<TR><TD COLSPAN=2 >
<P><CENTER><H4><EM>
FEATURES OF HIGH-CURRENT PULSED REGIMES IN MAGNETRON SPUTTERING SYSTEMS</EM></H4></CENTER><BR>
A.A. Bizyukov, A.Ye. Kashaba, E.V. Romashchenko*, K.N. Sereda, I.K. Tarasov**, 
S.N. Abolmasov***<BR>
V.N. Karazin Kharkov National University, Kharkov, Ukraine;<BR>
* East-Ukrainian National University, Lugansk, Ukraine;<BR>
** NSC Kharkov Institute of Physics and Technologies, Kharkov, Ukraine;<BR>
*** Kyoto University, Japan</P><BR><P>
The high-current pulsed magnetron sputtering system is presented and its operation regimes are studied. The comparative technological trials of the system are carried out at various types of the discharge: stationary magnetron, pulsed magnetron and pulsed arc. A procedure of calculation of dynamics and distribution of temperature in a near surface layer of the target material at heat application to a surface in conditions of low pressures of working gases is described.
</P></TD></TR>
<TR><TD COLSPAN=2>
<P><CENTER><H4><EM>
ОСОБЕННОСТИ СИЛЬНОТОЧНЫХ ИМПУЛЬСНЫХ РЕЖИМОВ В МАГНЕТРОННЫХ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМАХ</EM></H4></CENTER><BR>
А.А. Бизюков, А.Е. Кашаба, Е.В. Ромащенко, К.Н. Середа, И.К. Тарасов, С.Н. Аболмасов</P><BR><P>
Представлена сильноточная импульсная магнетронная распылительная система и изучены режимы ее работы. Проведены сравнительные технологические испытания системы при различных типах разряда: стационарном магнетронном, импульсном магнетронном и импульсном дуговом. Приведена методика вычисления динамики и распределения температуры в приповерхностном слое материала мишени при подводе тепла к поверхности в условиях низких давлений рабочих газов.</P></TD></TR>
<TR><TD COLSPAN=2>
<P><CENTER><H4><EM>
ОСОБЛИВОСТІ ПОТУЖНОСТРУМОВИХ ІМПУЛЬСНИХ РЕЖИМІВ У МАГНЕТРОННИХ РОЗПИЛЮВАЛЬНИХ СИСТЕМАХ</EM></H4></CENTER><BR>
О.А. Бізюков, А.Є. Кашаба, О.В. Ромащенко, К.М. Середа, І.К. Тарасов, С.М. Аболмасов</P><BR><P>
Описана сильнострумова імпульсна магнетронна розпилювальна система та вивчені режими її роботи. Проведені порівняльні технологічні випробування системи при різних типах розряду: стаціонарному магнетронному, імпульсному магнетронному та імпульсному дуговому. Приведена методика розрахунку динаміки і розподілу температури в приповерхневому шарі матеріалу мішені при підводі тепла до поверхні в умовах низьких тисків робочих газів.
</P></TD></TR>
</TABLE></BODY></HTML>