ВАНТ №2 2005 |
|
СОДЕРЖАНИЕ | СТАТЬЯ |
THE INFLUENCE OF A DC ELECTRIC FIELD ON THE RADIO-FREQUENCY MICRODISCHARGEN.A. Bogatov Institute of applied physics, Nizhni Novgorod, Russia, bogatov@appl.sci-nnov.ru The dependence of ionization frequency in a stationary radio-frequency microdischarge on plasma density and DC voltage applied to the discharge plasma is found. Calculation is fulfilled for a plane geometry in assumption of uniformity of radio-frequency electric field. | |
ВЛИЯНИЕ ПОСТОЯННОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ НА ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ МИКРОРАЗРЯДН.А. Богатов Рассчитана зависимость частоты ионизации в стационарном высокочастотном микроразряде от концентрации плазмы и постоянного напряжения, приложенного к плазме разряда. Расчет выполнен для плоской геометрии в предположении однородности высокочастотного поля. | |
ВПЛИВ ПОСТІЙНОГО ЕЛЕКТРИЧНОГО ПОЛЯ НА ВИСОКОЧАСТОТНИЙ МІКРОРОЗРЯДМ.О. Богатов Розрахована залежність частоти іонізації в стаціонарному високочастотному мікророзряді від концентрації плазми і постійної напруги, прикладеної до плазми розряду. Розрахунок виконаний для плоскої геометрії в припущенні однорідності високочастотного поля. |