ВАНТ №2 2005

СОДЕРЖАНИЕ СТАТЬЯ

THE INFLUENCE OF A DC ELECTRIC FIELD ON THE RADIO-FREQUENCY MICRODISCHARGE


N.A. Bogatov
Institute of applied physics, Nizhni Novgorod, Russia, bogatov@appl.sci-nnov.ru


The dependence of ionization frequency in a stationary radio-frequency microdischarge on plasma density and DC voltage applied to the discharge plasma is found. Calculation is fulfilled for a plane geometry in assumption of uniformity of radio-frequency electric field.

ВЛИЯНИЕ ПОСТОЯННОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ НА ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ МИКРОРАЗРЯД


Н.А. Богатов


Рассчитана зависимость частоты ионизации в стационарном высокочастотном микроразряде от концентрации плазмы и постоянного напряжения, приложенного к плазме разряда. Расчет выполнен для плоской геометрии в предположении однородности высокочастотного поля.

ВПЛИВ ПОСТІЙНОГО ЕЛЕКТРИЧНОГО ПОЛЯ НА ВИСОКОЧАСТОТНИЙ МІКРОРОЗРЯД


М.О. Богатов


Розрахована залежність частоти іонізації в стаціонарному високочастотному мікророзряді від концентрації плазми і постійної напруги, прикладеної до плазми розряду. Розрахунок виконаний для плоскої геометрії в припущенні однорідності високочастотного поля.