ВАНТ №5 2005

Представлены результаты исследований начальной стадии роста углеродных алмазоподобных пленок, полученных импульсным вакуумнодуговым методом на кремнии. Методом сканирующей зондовой микроскопии изучена динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия в диапазоне толщин от 100 до 1000 нм. С использованием программного обеспечения сканирующего зондового микроскопа «Smena-A» произведен расчет степени шероховатости в зависимости от толщины. Установлено процентное соотношение нановыступов различных размеров на поверхности углеродных покрытий различных толщин. По данным эксперимента поверхность конденсата квалифицирована как фрактальная и проведен фрактальный анализ поверхности. Предпринята попытка объяснения механизма образования нановыступов на основе существующих моделей.

Представлено результати досліджень початкової стадії росту вуглецевих алмазоподібних плівок, отриманих імпульсним вакуумно-дуговим методом на кремнії. Методом скануючої зондової мікроскопії вивчена динаміка росту нановиступів на поверхні вуглецевого покриття в діапазоні товщин від 100 до 1000 нм. З використанням програмного забезпечення скануючого зондового мікроскопа «Smena-A» зроблений розрахунок ступеня шорсткості залежно від товщини. Встановлено процентне співвідношення нановиступів різних розмірів на поверхні вуглецевих покриттів різних товщин. По даним експерименту поверхня конденсату кваліфікована як фрактальна й проведений фрактальний аналіз поверхні. Почато спробу пояснення механізму утворення нановиступів на основі існуючих моделейо-делей.

Results are presented on investigation of initial growth stages diamond-like carbon coating produced by pulse vacuumarc method on silicon. Study dynamics of growth nanopeak on a surface of carbon coating in range of thickness from 100 up to 1000 nm by use method of scanning probe microscopy (SPM). About use of the software scanning probe microscope “SMENA-A” to make a calculation roughness depending on thickness. The percent proportion nanopeak of the different sizes on a surface of carbon coatings of different thickness is established. On datas of experiment the surface of a condensate is qualified as fractal and the fractal analysis of a surface is conducting. To make an attempt of argument of formation nanopeak on the basis of the existing model.