ВАНТ №1 2006
СОДЕРЖАНИЕ СТАТЬЯ

Устройства финишной очистки технологических газов НА ОСНОВЕ нераспыляемых геттеров из СПЛАВОВ Zr-Al, Zr-Fe, Hf-Fe


В.М. Ажажа, Р.В. Ажажа, П.Н. Вьюгов, А.П. Свинаренко, В.М. Шулаев
Институт физики твёрдого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ, г.Харьков, Украина


Описаны устройства глубокой финишной очистки технологических газов Ar, He, Ne, H2, N2. Предложены геттерные материалы, используемые для этих целей. Приведены результаты масс-спектрометрических исследований состава газов по поглощаемым газам.

Пристрої фінішного очищення технологічних газів на основі нерозпиляних гетеров із СПЛАВІВ Zr-Al, Zr-Fe, Hf-Fe


В.М. Ажажа, Р.В. Ажажа, П.Н. В’югов, О.П. Свинаренко, В.М. Шулаєв


Описані пристрої глибокого фінішного очищення технологічних газів Ar, He, Ne, H2, N2. Запропоновані гетерні матеріали, що використовуються для цієї мети. Приведені результати мас-спектрометричних досліджень складу газів по газах, що поглинаються.

Devices of the finish cleaning of technological gases On the basis of UNEVAPORABLE getters from the Zr-Al, Zr-Fe, Hf-Fe ALLOYS


V.M. Azhazha, R.V. Azhazha, P.N. V’yugov, A.P. Svinarenko, V.M. Shulayev


Means of deep final purification of technological gases Ar, He, Ne, H2, N2 are described. Getter materials that are used for this purpose are proposed. The results of mass-spectrometric researches of gases composition on absorbent gases are given.