ВАНТ №1 2006

СОДЕРЖАНИЕ СТАТЬЯ

ПРУЖНЕ РОЗСІЮВАННЯ СВІТЛА ПОВЕРХНЕЮ ГЕРМАНІЮ ПРИ ВПЛИВІ МОЛЕКУЛЯРНОГО ТА АТОМАРНОГО ВОДНЮ


С.Д. Точилін
Запорізький національний університет;
69600, м. Запоріжжя, Україна, вул. Жуковського, 66; тел. 289-41-16; Е-mail: tochno@zsu.zp.ua


Отримано часові залежності пружного розсіювання світла поверхнею германію при обробці в молекулярному та атомарному водні. Встановлено зв'язок спостережуваних особливостей розсіювання світла з теорією. Експерименти подібного роду можна використовувати для контролю очищення та модифікації поверхні напівпровідникових матеріалів.

УПРУГОЕ РАССЕЯНИЕ СВЕТА ПОВЕРХНОСТЬЮ ГЕРМАНИЯ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ МОЛЕКУЛЯРНОГО И АТОМАРНОГО ВОДОРОДА


С.Д. Точилин


Получены временные зависимости упругого рассеяния света поверхностью германия при обработке в молекулярном и атомарном водороде. Установлена связь наблюдаемых особенностей рассеяния света с теорией. Эксперименты подобного рода можно использовать для контроля очистки и модификации поверхности полупроводниковых материалов.

ELASTIC SCATTERING OF LIGHT BY A SURFACE GERMANY AT INFLUENCE OF MOLECULAR AND ATOMIC HYDROGEN


S.D. Tochilin


The temporary dependences for elastic scattering of light by a surface Germany at processing in molecular and atomic hydrogen have been investigated. The features of light scattering correspond to conclusions of the theory. The experiments of a similar sort can be used for the control of clearing and updating of semiconductor materials surface.