<HTML><HEAD><TITLE>АННОТАЦИИ</TITLE></HEAD>
<BODY LINK=#000080 ALINK=#483D8B VLINK=#000000>
	<TABLE ALIGN=CENTER CELLSPACING=1 CELLPADDING=5 BORDER=10 BACKGROUND="../images/fon1.jpg" BGCOLOR=#D8BFD8 WIDTH=80% >
	
<TR  ALIGN=CENTER WIDTH=50%   CELLSPACING=0>
<TD COLSPAN=2> <H2> ВАНТ №1 2014 </H2></TD>  
<TD COLSPAN=2> <H2> PAST №1 2014 </H2></TD></TR>

<TR><TD BGCOLOR=#f5f5f5 ALIGN=CENTER WIDTH=25% HEIGHT=15>
<A HREF="../CONTENTS/CONTENTS_2014_1rus.html#KEY2"TITLE="РУССКАЯ ВЕРСИЯ">СОДЕРЖАНИЕ</A></TD>

<TD BGCOLOR=#f5f5f5 ALIGN=CENTER WIDTH=25% HEIGHT=15>
<A HREF="../ARTICLE/VANT_2014_1/article_2014_1_180r.pdf">СТАТЬЯ</A></TD>

<TD BGCOLOR=#f5f5f5 ALIGN=CENTER WIDTH=25% HEIGHT=15>
<A HREF="../CONTENTS/CONTENTS_2014_1.html#KEY2"TITLE="АНГЛИЙСКАЯ ВЕРСИЯ">CONTENTS</A></TD>

<TD BGCOLOR=#f5f5f5 ALIGN=CENTER WIDTH=25% HEIGHT=15>
<A HREF="../ARTICLE/VANT_2014_1/article_2014_1_180.pdf">ARTICLE</A></TD></TR>

<TR><TD COLSPAN=4 >

<P><CENTER><H4><EM>

КОНДЕНСАЦИЯ СИЛИЦИДНЫХ ПЛЕНОК ИЗ ЧИСТЫХ КОМПОНЕНТОВ
</EM></H4></CENTER><BR>
Н.А.&nbsp;Азаренков, С.В.&nbsp;Литовченко, В.М.&nbsp;Береснев, В.А.&nbsp;Чишкала, Ю.И.&nbsp;Велиев <br>
Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, Харьков, Украина <br>
E-mail: s.lytovchenko@karazin.ua
</P><BR><P>
Изучены особенности формирования силицидных пленок на молибдене при конденсации ингредиентов,
полученных испарением или распылением чистых дисилицидных компонентов. Проанализирована морфология и состав полученных конденсатов в зависимости от технологических параметров процесса осаждения.
<br> УДК 538.9:539.231:621.793
</P><BR><P>
</P></TD></TR>

<TR><TD COLSPAN=4>
<P><CENTER><H4><EM>
КОНДЕНСАЦІЯ СИЛІЦИДНИХ ПЛІВОК ІЗ ЧИСТИХ КОМПОНЕНТІВ
</EM></H4></CENTER><BR>
М.О.&nbsp;Азарєнков, С.В.&nbsp;Литовченко, В.М.&nbsp;Береснєв, В.А.&nbsp;Чишкала, Ю.І.&nbsp;Велієв
</P><BR><P>
Вивчено особливості формування силіцидних плівок на молібдені при конденсації інгредієнтів, отриманих випаровуванням або розпиленням чистих дісиліцидних компонентів. Проаналізована морфологія і склад отриманих конденсатів залежно від технологічних параметрів процесу осадження.
</P></TD></TR>

<TR><TD COLSPAN=4>
<P><CENTER><H4><EM>
CONDENSATION OF SILICIDE FILMS FROM PURE COMPONENTS
</EM></H4></CENTER><BR>
N.A.&nbsp;Azarenkov, S.V.&nbsp;Lytovchenko, V.M.&nbsp;Beresnev, V.А.&nbsp;Chyshkala, Yu.I.&nbsp;Veliev
</P><BR><P>
The features of the silicide films’ formation on molybdenum interface under the condensation of ingredients,
which are obtained in evaporation or sputtering of pure disilicide components, are studied. The morphology and
composition of the condensates obtained are analyzed in dependence on the technological parameters of the deposition process.
</P></TD></TR>
</TABLE></BODY></HTML>